- 1940年10月1日 - 開設。
- 1945年8月14日 - 空襲により壊滅。12時20分から1時間(米軍記録では12時17分~13時18分)にわたって米軍機(B-29爆撃機)5波、延べ167機によって空襲された。犠牲者は738人(軍人51人、軍属554人、動員学徒133人)。
- 妹尾知之 少将:1940年10月1日 - 1943年10月1日
- 田村英 少将:1943年10月1日 -
- 光市の主要道路である国道188号は光海軍工廠の建設に伴う都市計画で建設されたものである。光井地区から室積地区にかけての約2kmの直線区間は非常用滑走路としての機能があった。
- 残った廃材の一部は広島県広島市の旧太田川に架かる本川橋、広島県安芸郡の瀬野川に架かる九十九橋の2つの鋼トラス橋の再建に利用された。
- 光海軍工廠への空襲を描いた作品として、いぬいとみこによる児童文学『光の消えた日』(1978年)がある[1]。